美國Corning平面度測量系統(tǒng)FlatMaster 100

美國康寧Corning Tropel Flatmaster 100平面度儀，為精密部件的制造商提供了業(yè)界*先的平面度及表面形態(tài)測量。通過非接觸式光學測量技術(shù)能在很短的時間內(nèi)記錄下整個表面的數(shù)據(jù)。

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Tropel FlatMaster 100

平面度測量儀快速、準確地測量經(jīng)粗磨、研磨、精磨、拋光和精加工的部件

美國Corning平面度測量系統(tǒng)FlatMaster 100 Flatmaster 100平面度儀提供了五種納米級的解析度和高達50納米的標準精度，能夠快速和準確地對各種表面的平面度、線型、半徑和其他表面參數(shù)進行精密測量。

Tropel Flat master 100平面度儀技術(shù)特點及應用領(lǐng)域：
? 無接觸和無損傷測量 ? 適用多種類型材料：半導體，金屬，聚合物，陶瓷，玻璃和其它材料 ? 適用多種類型晶片：硅/藍寶石/碳化硅/砷化鎵/石英/鍺/鈮酸鋰 ? 適用多種類型表面：研磨表面，拋光面、光滑面

可測量多種指標		完整的分析系統(tǒng)
● 厚度 ● TTV ● SORI ● LTV ● LDOF ● 壓力	● 翹曲度 ● 彎曲度 ● 平坦度 ● 平面度 ● 線輪廓 ● 表面輪廓	● 三維 ● 拓撲 ● 合格率 ● 分布 ● 二維環(huán)形 ● 半徑切面	● 平面 ● 球面 ● 錐形匹配 ● 局部平面度分析 ● 斜度

技術(shù)參數(shù)：
? 精度：50nm （2.0μ″） ? 重復性：15 nm（0.6μ″）（1 sigma） ? 分辨率：5nm （0.2μ″） ? 可測量工件尺寸：25mm-100mm（更小工件也可提供） ? 動態(tài)測量范圍：>100um ? 測量數(shù)據(jù)點：230,000 / measurement ? 測量時間：5秒 ? 電源：～220V 50Hz

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